Depo와 Etch을 다루기 전에 플라즈마에 대해 다룬 이후에 다루고자 합니다. 1. Plasma란? ● Plasma = 디파이 차폐를 만족하는 이온화된 기체 ● 고체, 액체, 기체와 더불어 4번째 물질 상태 ● 기체 상태의 분자나 원자가 이온화되어, 4가지 종류의 상태가 섞인 상태 ( 원자나 분자, 이온, 전자, 라디컬) ( 보통 0.001% 이하의 기체가 이온화되어 있음. HDP(High Density Plasma의 경우 ~1%) ● 전체적으론 중성이나, 국부적으로는 극성을 나타냄 (플라즈마 진동을 다루면서 다시 설명) 2. 플라즈마 내 충돌플라스마 내 충돌은 전자의 에너지에 따라 탄성 충돌과 비탄성 충돌로 나뉨 1) 탄성 충돌 ● 전자의 에너지가 작은 경우에 해당 ● ..