8대 공정 2

[반도체 공정] Oxidation - 2 (Oxiadation의 한계, High-k)

현재 사용하지 않는 이유 소자의 성능을 높이기 위해 scaling이 적용됨→  source와 drain 사이의 거리(channel lengh)가 점차 감소→ drain에 걸리는 전압이 source에 영향을 미쳐 전자를 끌어당김 (누설전류, leakage current)→  누설전류를 막기 위해 Gate 전압이 미치는 영향을 더 크게 해줘야 함→  Gate와 body사이의 SiO2의 두께를 더 얇게 제작     ( ∵ 유전상수 = 유전율 /  두께로 정의되므로, 두께가 얇아질수록 유전 상수가 커져 SiO2 위아래로 저장되는 전자 개수가 증가)→  1.2nm 이하로 SiO2을 제작 시 전자가 SiO2을 통과하는 Tunneling 발생→  SiO2의 한계점→  이를 극복한 것이 high-K 물질을 활용한 ga..

[반도체 공정] Oxidation - 1 (정의, Process, LOCOS, STI)

Oxidation 이란? Si 위에 Gate oxide 역할을 하는 SiO2을 증착하기 위한 공정으로 사용.Si 웨이퍼 위를 산화(Oxidation)시키면 SiO2을 증착시킬 수 있어, 손쉽고 값싼 공정으로 분류됨.공정 온도(열) 조절을 통해 diffusion을 제어하는 공정.산화막을 통해 누설 전류 방지, 소자 간 분리, 불순물 확산 방지의 역할을 하게 됨 방법에 따라서 Wet / Dry / Radical oxidation으로 분류됨.특성Wet OxidationDry OxidationRadical OxidationSource gas수소 +  산소산소 (+질소)수소 + 산소Temp.600도 이상Pressure상압 산화진공에서 산화Oxidation Rate (동일온도)FastNormalSlow막질나쁨우수 ..

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